Penetration Depth/Implant Depth/Trajectory of Ions in FIB Milling - Practical Electron Microscopy and Database - - An Online Book - |
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Figure 1167 shows the simulations of transport of Ga+ ions near Si (silicon) and Cu (copper) surfaces, indicating the ion trajectories at 0° incidence angle and 88° incidence angle at a 30 keV Ga beam.
[1] Lucille A. Giannuzzi, Particle-Induced X-Ray Analysis Using Focused Ion Beams, SCANNING VOL. 27, 165–169 (2005).
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