Xenon (Xe) Ion Sputtering Yield in Milling
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Figure 1170 shows the xenon (Xe) ion sputtering yields on target atoms with different atomic numbers (Z) at Xe energies of 1 and 5 keV.

Xe ion sputtering yields (Y) on target atoms with different atomic numbers (Z) at Xe energies of 1 and 5 keV

Figure 1170. Xe ion sputtering yields (Y) on target atoms with different atomic numbers (Z) at Xe energies of 1 and 5 keV. [3]

 

Table 1170. Examples of Xenon (Xe) ion sputtering yields on different material surfaces. The incident angle is the angle of incidence with respect to target normal.
Atomic number  
Xe ion sputtering yields (atoms/ion or molecules/ion)
Note
Voltage 100 eV 200 eV 300 eV 600 eV 16 kV  
Angle 0 degree 0 degree 0 degree 0 degree    
1 H            
2 He            
3 Li            
4 Be   0.12 0.24 0.42    
5 B            
6 C   0.04 0.08 0.21    
7 N            
8 O            
9 F            
10 Ne            
11 Na            
12 Mg            
13 Al 0.06 0.24 0.45 1.02    
14 Si   0.08 0.21 0.51    
15 P            
16 S            
17 Cl            
18 Ar            
19 K            
20 Ca            
21 Sc            
22 Ti   0.11 0.24 0.50    
23 V 0.05 0.20 0.39 0.72    
24 Cr 0.13 0.44 0.83 1.90    
25 Mn 0.08 0.44 0.60 1.67    
26 Fe 0.06 0.29 0.54 1.20    
27 Co 0.09 0.38 0.61 1.30    
28 Ni 0.10 0.37 0.71 1.48    
29 Cu 0.26 0.79 1.29 2.44    
30 Zn            
31 Ga            
32 Ge 0.08 0.31 0.54 1.20    
33 As            
34 Se            
35 Br            
36 Kr            
37 Ru            
38 Sr            
39 Y            
40 Zr 0.03 0.18 0.31 0.74    
41 Nb 0.02 0.17 0.31 0.61    
42 Mo 0.06 0.28 0.51 1.05    
43 Tc            
44 Ru
 0.05 0.37 0.71 1.42    
45 Rh 0.12 0.51 0.84 1.60    
46 Pd 0.34 0.93 1.39 2.48    
47 Ag 0.40 1.05 1.80 4.20    
48 Cd            
49 In            
50 Sn            
51 Sb            
52 Te            
53 I            
54 Xe            
55 Cs            
56 Ba            
57 La            
58 Ce            
59 Pr            
60 Nd            
61 Pm            
62 Sm            
63 Eu            
64 Gd            
65 Tb            
66 Dy            
67 Ho            

68

Er

            
69
 Tm            
70
 Yb            
71
 Lu            
72
 Hf   0.30 0.55 1.17    
73
 Ta 0.05 0.32 0.50 1.00    
74
 W 0.03 0.35 0.60 1.18    
75
 Re 0.02 0.31 0.80 1.40    
76
 Os 0.03 0.39 0.74 1.53    
77
 Ir 0.05 0.52 0.86 1.79    
78
 Pt 0.19 0.72 1.25 2.23    
79
 Au 0.16 1.00 1.83 3.10 30  
80
 Hg            
81
 Tl            
82
 Pb            
83
 Bi            
84
 Po            
85
 At            
86
 Rn            
87
 Fr            
88
 Ra            
89
 Ac            
90
 Th 0.08 0.35 0.60 1.22    
91 Pa            
92 U   0.24 0.45 1.00    
             
             
Reference   [1] [1] [1] [1] [2]  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[1] D. Rosenberg, G.K. Wehner, J. Appl. Phys. 33 (1962) 1842.
[2] Szymczak W and Wittmaack K 1993 Nucl. Insrum. Meths. B 82 220-233.
[3] M.P. Seah, An accurate semi-empirical equation for sputtering yields, II: for neon, argon and xenon ions, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 229 (2005) 348–358.

 

 
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